產(chǎn)品用途
MX-8半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡采用無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)，具有大視野、成像質(zhì)量高、功能擴(kuò)展性強(qiáng)(明場(chǎng)/斜照明/偏振光/DIC觀察)、大平臺(tái)等特點(diǎn)；同時(shí)配有長(zhǎng)工作距半復(fù)消色差物鏡和可快速和慢速移動(dòng)的大行程載物臺(tái)，最大支持8寸晶圓及液晶面板的檢查，含4、6、8英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗(yàn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 多檔分光比觀察頭設(shè)計(jì)：采用寬光束成像系統(tǒng)設(shè)計(jì)，最大觀察視野，支持25-26.6mm，帶給你全新的大視野體驗(yàn)。正像，保證樣品的移動(dòng)方向與您通過目鏡觀察到的方向一致，是操作更加得心應(yīng)手。
? 安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì): 工業(yè)檢測(cè)級(jí)顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過熱
? 長(zhǎng)工作距金相物鏡：配置全套專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡，采用高透過率鏡片和先進(jìn)的鍍膜技術(shù)，使整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)的成像清晰銳利，色彩自然，明亮舒適。長(zhǎng)工作距設(shè)計(jì)，可有效避免用戶在切換時(shí)物鏡與樣品發(fā)生碰撞。50X物鏡的有效工作距離7.9mm，100X物鏡的有效工作距離也達(dá)到了2.1mm，更有20X超長(zhǎng)工作距金相物鏡，大幅拓展了MX機(jī)型的應(yīng)用領(lǐng)域。同步設(shè)計(jì)了全套明暗場(chǎng)兩用物鏡，暗場(chǎng)照明亮度比傳統(tǒng)暗場(chǎng)物鏡提高2倍以上。
? 高性能物鏡轉(zhuǎn)換器: MX8轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制，根據(jù)需求可配置不同孔位的轉(zhuǎn)換器
產(chǎn)品規(guī)格
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規(guī)格參數(shù)
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MX-8
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光路系統(tǒng)
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無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
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●
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觀察方式
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明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC觀察模式(選配)
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○
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觀察頭
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鉸鏈三通觀察筒，30°傾斜；瞳距范圍：50mm～76mm
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●
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正像,視度調(diào)節(jié)±5°；兩檔分光比R:T=100:0或0:100
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●
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目鏡
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高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡WF10X(Φ25mm)/可帶十字分劃板
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●
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無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相DIC物鏡
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倍率
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數(shù)值孔徑(N.A.)
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工作距離(W.D.)
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●
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5×-DIC
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0.15
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13.5mm
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10×-DIC
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0.3
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9.00mm
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20×-DIC
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0.4
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8.50mm
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50×
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0.55
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7.50mm
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100×(選配)
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0.8
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2.10mm
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○
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放大倍數(shù)
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50×-500×
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●
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物鏡轉(zhuǎn)輪(DIC)
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內(nèi)定位5孔明暗場(chǎng)轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽)
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●
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載物臺(tái)
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右手位 8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)
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●
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平臺(tái)面積525mmX330mm，移動(dòng)范圍：210mmX210mm；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)的快速移動(dòng)
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玻璃載物臺(tái)板
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調(diào)焦機(jī)構(gòu)
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反射式機(jī)架：前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，帶光亮度設(shè)定按鈕與復(fù)位按鈕
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●
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DIC微分干涉
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DIC微分干涉觀察組件(選配)
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○
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簡(jiǎn)易偏光裝置
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φ30起偏鏡插板（反射用）、360度旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板（反射用）
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●
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明暗場(chǎng)裝置
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帶明暗場(chǎng)觀察切換裝置與明暗場(chǎng)照明切換裝置
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●
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反射照明系統(tǒng)
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柯拉照明系統(tǒng)，帶視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，中心可調(diào)
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●
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帶斜射照明裝置
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100-240V寬電壓,12V/100W鹵素?zé)?，明暗?chǎng)反射照明器
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透射照明系統(tǒng)
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內(nèi)置5W暖色LED透射光照明系統(tǒng)，上下光可獨(dú)立控制
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●
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數(shù)碼成像系統(tǒng)
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高質(zhì)量0.5X
CCD可調(diào)焦適配鏡
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●
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Puda2000萬制冷型進(jìn)口芯片數(shù)字顯微鏡攝像機(jī)(芯片型號(hào)：Sony
IMX183 芯片大?。?”（13.056 * 8.755 mm）像素大?。?.4 * 2.4 μm最大分辨率：2000萬像素幀速：5fps@5440 *
3648 10fps@4096 * 2160 15fps@2736*1824 曝光時(shí)間：0.06ms-1hG光靈敏度：462mv with 1/30s/
USB3.0高速通訊，高分辨率、精準(zhǔn)的色彩還原處理/
Ultra-Fine顏色引擎，確保顏色精準(zhǔn)再現(xiàn)/雙級(jí)半導(dǎo)體深度制冷系統(tǒng)，低于環(huán)境溫度50度以下，精準(zhǔn)可控))
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Puda
ImageView專業(yè)的圖像處理軟件（專業(yè)的圖像軟件(圖像采集/影像輸入/相機(jī)控制/視頻操作/圖像處理/圖像測(cè)量/圖像融合(景深擴(kuò)展)/圖像拼接/清晰度對(duì)焦因子/動(dòng)態(tài)圖像灰度值定標(biāo)(可保證拍攝圖像明暗程度的一致性和連貫性)
/插件功能)）
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可升級(jí)配件
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目鏡：10×(分劃)
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○
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注解：●為標(biāo)配、○為可升級(jí)配件
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樣品實(shí)圖示例：
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